Simco-Ion 5810i 懸掛型離子風機,設計配合關鍵環境的要求,擁有業界先的離子平衡控制能;取得ISO Class 4 潔凈房內使用的認,在潔凈環境下,提供越的能。采用用的穩態直流電離技術,能消除 ESD 和所引起的電磁干擾,在先進生產設施內,也可提供離子輸出。能外接感應器,隨環境調整離子輸出,以達至和維持 少于 ±1 V 的離子平衡。
5810i 選用 Silicon Free 空氣軸承風扇,每個風扇的其他部分和外殼,都是封和經過清潔處,完全符合現今潔凈房的生產環境,兼容關鍵潔凈的制程。如使用的離子風機,不符合潔凈標準,會有污染制程的,低良率。
5810i 離子風機可利用 AC 輸出接口串聯其他的 5810i離子風機共同工作,多可串聯十臺。
特點
±3 V 或好的離子平衡 (配合選配的外接回饋系統能達至±1 V)
選配的外接感應器,設備控接口,報警和控制管
選配的自動清潔系統
點
在電暈放電技術的靜電防中,提供保和產出
提供瞬時報警通知,和避擅自調整能和風速
自動清潔靜電組,少維時間和成本
±1V 操作
5810i 離子風機的選配外接感應器, 可接連Novx Process Monitor 7000 系列,Novx 被動測系統 3352 系列,和Novx 主動測系統3362 系列,作出測和自動調整離子平衡。把天線放到目標位置, 信號會回饋到 5810i的控制線路,以達到和維持離子平衡在±1 V或好的能。
風速選擇
5810i 離子風機的設計是特別為了符合 ISO14644 1 Class 4 或好的潔凈環境使用。風機的風速和風量可調節,以低對潔凈房層流風的影響,達到靜電防控的果。
設備控接口
選配的氣流定向器能疊加在風機上,把氣流直接吹向目標,算在比較遠的工作距離,也可避離子分散和互相結合的問題,維持越的消散時間。
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