1~3軸氣浮平移臺

我公司的氣浮平移臺產(chǎn)品，一般采用直線電機(jī)、光柵尺配合氣浮導(dǎo)軌的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光柵精度。
也可提供雙頻激光反饋控制，穩(wěn)定精度可達(dá)20nm，有成功案例。
采取隔塵措施后，可應(yīng)用于高精度生產(chǎn)場合。
可提供超長行程單軸工作臺。
也可采用音圈電機(jī)、高精度絲杠配合我們獨創(chuàng)的5自由度氣浮聯(lián)軸器，驅(qū)動工作臺。
平移臺可以安裝氣浮主軸和氣浮轉(zhuǎn)臺。

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