1~3軸氣浮平移臺

我公司的氣浮平移臺產品，一般采用直線電機、光柵尺配合氣浮導軌的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光柵精度。
也可提供雙頻激光反饋控制，穩定精度可達20nm，有成功案例。
采取隔塵措施后，可應用于高精度生產場合。
可提供超長行程單軸工作臺。
也可采用音圈電機、高精度絲杠配合我們獨創的5自由度氣浮聯軸器，驅動工作臺。
平移臺可以安裝氣浮主軸和氣浮轉臺。

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