X、Y軸壓電陶瓷納米臺-上海納動納米位移技術有限公司

產品描述
PS2H45系列由兩維X軸疊加組合，沿X，Y軸提供12、30、50、70或100 μm的運動范圍。（標準產品行程為12μm，其它行程均可定制）。
PS2H45系列納米--器是我們高速產品線的部分，可提供大率控制器，使其進行超高速驅動運動。
PS2H45-012U系列是具有納米--分辨率的高速，多軸，精納米--系統。本系列產品提供大的多能。可選配內部位置傳感器進行閉環，可進行重的位置測量。
積小，具有超高諧振頻率，高穩定，高精度使其非常適合需要低噪聲和高速能的計量應用。參數可根據客戶要求定制。
PS2H45-012U系列壓電陶瓷元件直接移動工作臺面，具有高剛，即使在高負載下可實現穩定--。
產品特
—高速1ms響應，多軸--
—超快的響應時間
—亞納米范圍內的高分辨率
—高度緊湊的設計帶來卓越的能
選配能
—可定制固定、負載安裝孔位及轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系
—可提供XZ/XYZ版本
應用域
—高運動平面度和直線度的納米--
—測量、計量
—掩模/晶圓--
—表面測量技術

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