X、Y、Z軸壓電陶瓷納米臺-上海納動納米位移技術有限公司
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產品描述
PS3L90-100UA系列為XYZ軸運動納米位移臺。Z軸設計為500微米大行程運動,方便樣品移動,可選配內部位置傳感器進行閉環,可進行重的位置測量。
壓電位移臺可提供SGS傳感器反饋或無反饋(開環)。 對于需要緊湊的尺寸,高動態和亞納米的--分辨率,但又不需要--的--精度和可重的應用,開環提供了種經濟高的選擇。 在通過外部反饋源(干涉,視覺系統,光電探測器等)控制壓電位置的情況下,也可以使用開環設計。
產品特
—XY位移100μmx100μm
—多種負載安裝孔位
—500微米Z軸大行程設計
—無磁材質
選配能
—可定制孔位及轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系
—可定制其他材質
應用域
—原子力顯微鏡、掃描探顯微鏡
—測量、計量
—光學探、光學掃描、光束對準
—光通信技術
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