供應掃描電子顯微鏡Phenom飛納 能譜版
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全球銷量突破2000臺!
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飛納臺式掃描電鏡 能譜版
—— 智能、高效、能譜電鏡一體化
放大倍數:20×-100,000×分辨率:優于17nm
電子槍:1500小時CeB6燈絲
抽真空時間:10秒
加速電壓:5 / 10 /15 kV 三檔
能譜儀EDS元素分析功能
拓展功能:3D粗糙度重建、纖維統計測量,高倍拼圖
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電鏡能譜一體化設計,簡潔小巧
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Phenom ProX 的能譜儀EDS是針對臺式電鏡設計的,本著臺式電鏡簡單易用,售后無憂的宗旨,Phenom ProX的能譜儀EDS 系統完全嵌入在電鏡主機中,利用半導體制冷,無需額外冷卻系統。下圖是傳統電鏡能譜儀系統與Phenom ProX的對比圖
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Phenom-World電鏡能譜一體化Phenom ProX
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Phenom-World電鏡能譜一體化Phenom ProX |
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快速得到樣品表面形貌和元素含量
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第一步:利用成像模式得到高分辨率的照片,背散射電子給出豐富的成份像,雜質一目了然
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第二步:如果需要分析元素含量,瞬間切換到成份分析模式,點擊感興趣的區域,立刻給出定量定性分析元素名稱和含量分布
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5kV,10kV,15kV 三檔加速電壓
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Phenom ProX提供三檔加速電壓,用戶可根據樣品類型和測試目的,靈活切換 |

5kV :血液 絕緣體直接觀測模式
適合對電子束敏感的樣品
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10kV:電路板 最佳分辨率模式
適合絕大部分樣品
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15kV:電路板 元素分析模式
X射線特征譜線更明顯
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表面形貌和成分信息同時展現
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背散射電子的產率、出射角度與樣品成份及表面形貌相關。Phenom(飛納)采用4分割半導體背散射電子探測器,為您提供兩種成像模式,模式之間可迅速切換: |
• 成份模式:同時給出樣品表面形貌與成份信息,不同元素可由其灰度對比度的不同加以分辨 |
• 形貌模式:去除成份信息,樣品表面凹凸起伏等微觀結構更加明晰,適用于表面粗糙度和缺陷分析 |
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成份模式
4分割背散射電子探測器扇區所得的信號相疊加
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形貌模式
4分割背散射電子探測器扇區所得的信號相抵消
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成份模式圖像包含樣品成份與形貌信息
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形貌模式圖像僅突出樣品表面形貌特征
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專利樣品杯,30秒快速成像
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Phenom(飛納)專利樣品杯、低真空設計、專利的真空封鎖技術,裝入樣品后30秒內即可得到高質量圖像,耗時僅為傳統電鏡的1/10左右。 |
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直接觀看絕緣體,無需噴金
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Phenom(飛納)采用低真空技術,出射電子與空氣分子碰撞產生正離子,正離子與樣品表面累積的電子中和,有效抑制荷電效應的產生,直接觀測各種不導電樣品(如下圖所示)。
利用降低荷電效應樣品杯,更可將開始荷電的放大倍數提高8倍左右,而且不會影響燈絲壽命,下圖頭發示例: |

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操作簡便,全程導航
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• 自動/手動聚焦
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Phenom(飛納)操作界面。通過點擊右側圖標可以輕松完成圖像縮放、聚焦、亮度對比度調節、旋轉等操作。界面右側顯示光學導航和低倍SEM導航窗口,方便用戶在不同樣品、不同區域間進行切換。 |
• 自動/手動亮度 |
• 自動/手動對比度 |
• 自動燈絲居中調節 |
• 自動馬達樣品臺 |
• 光學/電子樣品導航 |
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光學導航,所有待觀測樣品盡在視野之中,高倍下準確切換樣品,只需點擊感興趣樣品,即可自動移動到屏幕中央
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低倍SEM照片導航,導航窗口中的彩色矩形框指示了住觀測窗口的觀測區域,點擊感興趣的區域,自動移動到樣品中央。
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長壽命/高亮度/低色差 CeB6 燈絲
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Phenom(飛納)采用逸出功為2.5eV的CeB6燈絲,其亮度為鎢燈絲的10倍,出射電子色差小,為您提供更高質量的圖像,其使用壽命長達1500小時,為鎢燈絲的10倍,可正常使用1-3年無需更換燈絲,免去了您頻繁更換燈絲的麻煩,保證工作進度。
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環境適應性高,完全防震
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Phenom(飛納)可以放置在幾乎所有的室內環境當中,無需超凈間。采用燈絲、探測器、樣品臺相對一體化的設計,震動不會引起三者間的相對運動,使Phenom成像不受震動影響,可放置在較高樓層。
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互聯網遠程檢測
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Phenom(飛納)擁有遠程檢測功能,通過網絡,專業工程師可隨時為您遠程檢測系統、答疑解難,為您提供全方位的保護,讓您的Phenom隨時處于最佳工作狀態。
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豐富的拓展功能選件
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適用于不同領域的樣品杯選件
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