中科院RFG射頻電源與SP自動匹配器

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網址:信息.rf-power.發布
作為中科院微電子所(信息.rf-power.發布)最新一代晶體管射頻電源(RFG系列)：
1.控制方式更靈活：全數字面板/模擬口/RS232/RS485/USB控制
2.使用壽命更長,功率控制更精密,功率輸出更穩定,頻率精度更高
3.真彩色大屏幕液晶顯示正向功率反向功率
4.最低可實現1W的穩定功率輸出
5.開機無需預熱
6.具有外部時鐘同步(CEX)功能，可同步多臺電源并克服之間的相互干擾
中科院SP型自動匹配器產品特點及主要性能指標：
　　　　1、自動快速調節匹配網絡
　　　　2、實時顯示入射功率及反射功率變化，   指示精度 3%
　　　　3、顯示自偏壓
　　　　4、實時顯示電容位置變化，可明顯展示工藝阻抗變化的特征
　　　　5、采用真空電容調節（1KW以上）
　　　　6、具有自動控制和手動控制兩種模式
　　　　7、電壓輸入: 220v
　　　　8、提供配合射頻電源的反射功率保護信號，與射頻電源配合使用
　　　　9、直流電機驅動，保證運行期間合適的速率，從而提高匹配網絡的穩定性

中國科學院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(信息.rf-power.發布)從1984年開始研發電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得"六五"攻關榮譽證書以及"FD-2反應離子刻蝕機與超精細刻蝕研究"項目二等獎。
從2010年開始受到極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）資金支持，研發晶體管射頻電源，2011年研發成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發明展覽會銀獎與第七屆北京發明創新大賽金獎。
經過二十多年的發展完善，產品的性能不斷提高，規格齊全,年銷售電子管與晶體管射頻源占國內市場份額的70%以上。
目前開發成熟的電子管與晶體管射頻電源產品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩流源與自動匹配器。

射頻電源廣泛應用于等離子體研究，集成電路工藝設備，太陽能光伏工業，LED制程，薄膜生長，感應加熱，醫療領域的消毒與理療，等離子清洗等領域。
產品現已售往北京、上海、杭州、蘇州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的幾十所高校、科研單位及半導體設備廠等高技術公司，得到用戶的一致好評。
 

特別提示：以上中科院RFG射頻電源與SP自動匹配器的供應由中國科學院微電子研究所自行免費發布，僅供參考。該中科院RFG射頻電源與SP自動匹配器產品信息的真實性、準確性及合法性未證實。請謹慎采用，風險自負。如需了解更多關于中科院RFG射頻電源與SP自動匹配器的產品規格型號及批發價格或產品圖片等詳細參數說明資料；您可以進入中國科學院微電子研究所網站咨詢。本頁收錄查詢：中科院RFG射頻電源與SP自動匹配器
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