5822i離子風機的精巧設計是配合高端自動化制程設備內緊的空間條件,和嚴格的靜電防控要求,尤其適用于硬盤制造和半導后段封測工業。它能維持<±3 V 的離子平衡,又可接連外置回饋系統以達至<±1 V 的 能。內置的離子平衡自動修正系統,能確保目標對象在控制中,少維修次數和低操作成本。配置的氣流定向器,無須多的空間,也能把平衡的離子直接吹到目標。
特點
±3 V 或好的離子平衡 (配合選配的外接回饋系統能達至±1 V)
設備控接口和聲響報警
外置控制盒
符合潔凈度 ISO 14644-1 Class 4
點
直送吹風設計能離子吹送和靜電控制
對產品錯誤能作出快速反應
允許彈的安裝位置,又能維持能
適合在高要求的微污染控制環境使用
定向氣流
氣流定向器疊加在風機上,把氣流直接吹向目標,算在比較遠的工作距離,也可避離子分散和互相結合的問題,維持越的消散時間。
選配的回饋系統
5822i離子風機的選配外接感應器,可接連Novx Process Monitor 7000系列,Novx 被動測系統3352系列,和Novx主動測系統3362系列,作出測和自動調整離子平衡。把天線放到目標位置,信號會回饋到 5822i 的控制線路,以達至和維持離子平衡在±1 V 或好的能。
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