5822i離子風(fēng)機(jī)的精巧設(shè)計(jì)是配合高端自動化制程設(shè)備內(nèi)緊的空間條件，和嚴(yán)格的靜電防控要求，尤其適用于硬盤制造和半導(dǎo)后段封測工業(yè)。它能維持<±3 V 的離子平衡，又可接連外置回饋系統(tǒng)以達(dá)至<±1 V 的 能。內(nèi)置的離子平衡自動修正系統(tǒng)，能確保目標(biāo)對象在控制中，少維修次數(shù)和低操作成本。配置的氣流定向器，無須多的空間，也能把平衡的離子直接吹到目標(biāo)。

特點(diǎn)

±3 V 或好的離子平衡 (配合選配的外接回饋系統(tǒng)能達(dá)至±1 V)

設(shè)備控接口和聲響報(bào)警

外置控制盒

符合潔凈度 ISO 14644-1 Class 4

點(diǎn)

直送吹風(fēng)設(shè)計(jì)能離子吹送和靜電控制

對產(chǎn)品錯(cuò)誤能作出快速反應(yīng)

允許彈的安裝位置，又能維持能

適合在高要求的微污染控制環(huán)境使用

定向氣流

氣流定向器疊加在風(fēng)機(jī)上，把氣流直接吹向目標(biāo)，算在比較遠(yuǎn)的工作距離，也可避離子分散和互相結(jié)合的問題，維持越的消散時(shí)間。

選配的回饋系統(tǒng)

5822i離子風(fēng)機(jī)的選配外接感應(yīng)器，可接連Novx Process Monitor 7000系列，Novx 被動測系統(tǒng)3352系列，和Novx主動測系統(tǒng)3362系列，作出測和自動調(diào)整離子平衡。把天線放到目標(biāo)位置，信號會回饋到 5822i 的控制線路，以達(dá)至和維持離子平衡在±1 V 或好的能。

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