10月25日，中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱"中微公司"，上交所股票代碼：688012)宣布其MOCVD設(shè)備系列喜迎又一里程碑：全球第500臺(tái)MOCVD設(shè)備順利付運(yùn)國內(nèi)一家專業(yè)從事LED外延片和芯片的研發(fā)生產(chǎn)制造商。這一里程碑既是中微公司MOCVD產(chǎn)品的卓越性能與服務(wù)的專業(yè)優(yōu)勢(shì)的充分證明，也是對(duì)公司持續(xù)創(chuàng)新的技術(shù)能力與穩(wěn)步發(fā)展的綜合實(shí)力的認(rèn)可與肯定。
本批次運(yùn)付的第500臺(tái)MOCVD設(shè)備為中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax®，主要用于氮化鎵基Mini LED外延片量產(chǎn)。隨著近些年來光電產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，Mini LED已廣泛應(yīng)用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示器、車載顯示屏、戶外顯示屏等終端產(chǎn)品。
自面世以來， Prismo UniMax® MOCVD設(shè)備憑借優(yōu)異的波長(zhǎng)均勻性、高能效和高產(chǎn)能等優(yōu)勢(shì)迅速獲得了市場(chǎng)認(rèn)可，團(tuán)隊(duì)專業(yè)及時(shí)的現(xiàn)場(chǎng)支持和細(xì)致規(guī)范的技術(shù)服務(wù)也備受客戶青睞。作為專為高性能Mini LED量產(chǎn)而設(shè)計(jì)的MOCVD設(shè)備，Prismo UniMax®具備高產(chǎn)能和高靈活性的特點(diǎn)，在同一系統(tǒng)中可配備多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔，每個(gè)反應(yīng)腔均可實(shí)現(xiàn)獨(dú)立控制。Prismo UniMax®配置了785mm大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設(shè)計(jì)配置，最多可實(shí)現(xiàn)同時(shí)加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高產(chǎn)能并降低生產(chǎn)成本。此外，Prismo UniMax®創(chuàng)新的多區(qū)輔助加熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤局部區(qū)域溫度，有助于更大程度提升LED波長(zhǎng)均勻性。
中微公司MOCVD設(shè)備Prismo UniMax(R)目前，中微公司開發(fā)的一系列MOCVD設(shè)備在行業(yè)內(nèi)主要的LED生產(chǎn)線上已全面投入量產(chǎn)。Prismo UniMax®是MOCVD設(shè)備系列新一代產(chǎn)品，該產(chǎn)品系列還包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。2013年，中微公司率先發(fā)布國內(nèi)自主研發(fā)制造的量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備Prismo D-BLUE®。此后，中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相繼推出了Prismo A7®、Prismo HiT3®、Prismo UniMax®和Prismo PD5®產(chǎn)品。
"此次里程碑是中微公司取得的又一次重要突破，為今后MOCVD產(chǎn)品市場(chǎng)進(jìn)一步開拓奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。"中微公司副總裁兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理郭世平表示："我們感到十分自豪，中微公司開發(fā)的一系列MOCVD設(shè)備，獲得了客戶與市場(chǎng)的廣泛認(rèn)可，部分產(chǎn)品在細(xì)分領(lǐng)域市占率達(dá)到全球排名第一。未來，隨著新應(yīng)用的進(jìn)一步拓展，我們將繼續(xù)推進(jìn)與客戶的密切合作交流，通過技術(shù)領(lǐng)域的持續(xù)創(chuàng)新，不斷為客戶提供極具競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品和解決方案，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)步發(fā)展與深度共贏，共同譜寫產(chǎn)業(yè)更加美好的明天。"
